碳化硅反射镜规格参数表
FSM-R 系列圆形/方形反射镜、FSM-P 系列透镜、FSM-W 系列窗口,提供完整规格参数表。
了解更多提供高性能碳化硅光学元件,支持标准规格与定制化生产。
横向对比碳化硅大镜片、碳化硅中镜片与碳化硅小镜片的关键技术指标,便于快速选型。
| 参数 | 碳化硅大镜片 | 碳化硅中镜片 | 碳化硅小镜片 | 碳化硅定制镜片 |
|---|---|---|---|---|
| 材料 | RB-SiC / CVD-SiC | 4H-SiC / 6H-SiC, CVD-SiC | 4H-SiC / 6H-SiC, CVD-SiC | 4H-SiC / 6H-SiC |
| 直径 / 尺寸范围 | 5 mm – 50 mm(圆形 / 方形) | 5 mm – 200 mm | 5 mm – 300 mm | 2 inch – 6 inch(可定制) |
| 厚度 | 0.8 mm – 5.0 mm | 0.3 mm – 30 mm | 0.5 mm – 50 mm | 按客户要求定制 |
| 表面粗糙度 Ra | 0.5 – 0.8 nm | < 0.5 nm | < 0.5 – 0.8 nm | Ra < 0.3 nm |
| 面型精度 / 平整度 | λ/10 – λ/8 @ 633 nm | λ/10 @ 633 nm | λ/10 @ 633 nm | — |
| 工作波段 | 0.2 µm – 12 µm | 0.2 µm – 12 µm | 0.2 µm – 12 µm | — |
| 镀膜选项 | HR / 定制 | AR / HR / 定制 | AR / DLC / 定制 | 依需求定制 |
| 热导率 | 490 W/(m·K) | 490 W/(m·K) | 490 W/(m·K) | 490 W/(m·K) |
| 热膨胀系数 | ~4.0 × 10⁻⁶ /K | ~4.0 × 10⁻⁶ /K | ~4.0 × 10⁻⁶ /K | ~4.0 × 10⁻⁶ /K |
| 硬度 | 莫氏硬度 9.2 | 莫氏硬度 9.2 | 莫氏硬度 9.2 | 莫氏硬度 9.2 |
| 主要应用 | 激光反射、精密光学系统 | 高功率激光、红外成像、精密光学系统 | 红外光学、恶劣环境、高功率激光 | 半导体器件、外延生长、高温电子 |