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提供高性能碳化硅光学元件,支持标准规格与定制化生产。

碳化硅反射镜

碳化硅反射镜规格参数表

FSM-R 系列圆形/方形反射镜、FSM-P 系列透镜、FSM-W 系列窗口,提供完整规格参数表。

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碳化硅大镜片

碳化硅大镜片

适用于高功率激光、红外成像及精密光学系统的高性能大镜片。

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碳化硅中镜片

碳化硅中镜片

耐高温、耐磨损的红外光学中镜片,适用于恶劣环境。

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碳化硅小镜片

碳化硅小镜片

高纯度、低缺陷密度的碳化硅小镜片,适用于半导体与外延生长。

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参数对比

三款产品核心参数对比

横向对比碳化硅大镜片、碳化硅中镜片与碳化硅小镜片的关键技术指标,便于快速选型。

参数 碳化硅大镜片 碳化硅中镜片 碳化硅小镜片 碳化硅定制镜片
材料 RB-SiC / CVD-SiC 4H-SiC / 6H-SiC, CVD-SiC 4H-SiC / 6H-SiC, CVD-SiC 4H-SiC / 6H-SiC
直径 / 尺寸范围 5 mm – 50 mm(圆形 / 方形) 5 mm – 200 mm 5 mm – 300 mm 2 inch – 6 inch(可定制)
厚度 0.8 mm – 5.0 mm 0.3 mm – 30 mm 0.5 mm – 50 mm 按客户要求定制
表面粗糙度 Ra 0.5 – 0.8 nm < 0.5 nm < 0.5 – 0.8 nm Ra < 0.3 nm
面型精度 / 平整度 λ/10 – λ/8 @ 633 nm λ/10 @ 633 nm λ/10 @ 633 nm —
工作波段 0.2 µm – 12 µm 0.2 µm – 12 µm 0.2 µm – 12 µm —
镀膜选项 HR / 定制 AR / HR / 定制 AR / DLC / 定制 依需求定制
热导率 490 W/(m·K) 490 W/(m·K) 490 W/(m·K) 490 W/(m·K)
热膨胀系数 ~4.0 × 10⁻⁶ /K ~4.0 × 10⁻⁶ /K ~4.0 × 10⁻⁶ /K ~4.0 × 10⁻⁶ /K
硬度 莫氏硬度 9.2 莫氏硬度 9.2 莫氏硬度 9.2 莫氏硬度 9.2
主要应用 激光反射、精密光学系统 高功率激光、红外成像、精密光学系统 红外光学、恶劣环境、高功率激光 半导体器件、外延生长、高温电子